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净化工程(洁净室)造价的影响因素:

一、温湿度  

        洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别 是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。

        湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或 电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。

二、洁净度等级标准

        我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》(GBJ73-84),1996年该规范进行了较大的修改,1990年 颁布《洁净室施工及验收规范》(JGJ71-90)以引导施工和验收的重要文件。目前,该规范重新修订2010版本。

三、面积

        净化工程面积的大小也决定其报价的多少,不同净化等级每平方的报价也是有所不同的。等级越高的净化工程(洁净室),每平方面积价格也是依次往上递增,具体参数可以根据行业发展现状决定。当然,不同净化企业,其净化工程报价也是不尽一致的。

四、对设备是否有指定品牌

        在承建一个净化工程(洁净室)时,避免不了使用到各种净化设备,而现今市场上生产净化设备企业多不可数,品质也良莠不齐。某些企业在净化工程对设备质量要求严格,则根据所产生的成本,报价也是会受到影响。 


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